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重慶激光切割光束聚焦工件位置的原理
來源：www.51dazhongbanchang.com.cn 發(fā)布時間：2023年03月31日
在精密切割中，對切口寬度有相當(dāng)嚴(yán)格的要求，尤其是對于微0電子行業(yè)的精密切割。以硅片為例，在硅片上制作了大量的組件，不同組件之間的距離約為100um。那么，如果切口超過或達(dá)到100um，肯定會破壞組件，即使切口接近100微米，半導(dǎo)體組件的功能也會受到熱擴(kuò)散的影響。因此，如果切口與兩側(cè)組件之間的距離為30-40um，切口的寬度不應(yīng)超過20~30um。為了獲得狹窄的切口寬度，需要激烈的聚焦，不僅是為了。
一，光束聚焦
從激光輸出的光束通常有毫米的限制。因此，在精密切割之前，必須先將其聚焦，將束腰壓縮100倍左右，這樣不僅可以降低切口寬度，還可以提高功率密度，更有利于切割。鏡頭焦距越小，聚焦效果越好。因此，短焦鏡頭通常用于聚焦。
第二，工件位置
為確保準(zhǔn)確切割的切割精度，僅僅聚焦光束是不夠的，還需要仔細(xì)確定待加工工件的位置。
顯然，如果工件與聚焦后的光束束腰之間有一個不可忽視的距離，那么落在工件上的光斑可能會超過所需值，盡管束腰已經(jīng)被壓縮得足夠小。
值得注意的是，由子聚焦后的光束束腰很小，發(fā)散角很大，因此，一旦偏離束腰位置，光斑的增長是不可忽視的。
激光切割原理三
由于加工材料的性質(zhì)不同，切割原理通常分為兩類。切割金屬和一些介質(zhì)材料時，先將材料蒸發(fā)或熔化，然后(一般通過吹氣)將熔融物從光作用區(qū)排出，而切割脆性材料時，會產(chǎn)生熱應(yīng)力，使材料沿裂紋斷裂。
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一，光束聚焦
從激光輸出的光束通常有毫米的限制。因此，在精密切割之前，必須先將其聚焦，將束腰壓縮100倍左右，這樣不僅可以降低切口寬度，還可以提高功率密度，更有利于切割。鏡頭焦距越小，聚焦效果越好。因此，短焦鏡頭通常用于聚焦。
第二，工件位置
為確保準(zhǔn)確切割的切割精度，僅僅聚焦光束是不夠的，還需要仔細(xì)確定待加工工件的位置。
顯然，如果工件與聚焦后的光束束腰之間有一個不可忽視的距離，那么落在工件上的光斑可能會超過所需值，盡管束腰已經(jīng)被壓縮得足夠小。
值得注意的是，由子聚焦后的光束束腰很小，發(fā)散角很大，因此，一旦偏離束腰位置，光斑的增長是不可忽視的。
激光切割原理三
由于加工材料的性質(zhì)不同，切割原理通常分為兩類。切割金屬和一些介質(zhì)材料時，先將材料蒸發(fā)或熔化，然后(一般通過吹氣)將熔融物從光作用區(qū)排出，而切割脆性材料時，會產(chǎn)生熱應(yīng)力，使材料沿裂紋斷裂。
